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Mar 4, 2018
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Oct 5, 2018
Publicado
Oct 6, 2018
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Resumo

Filmes de nitreto de titânio foram depositados em substratos de vidro borosilicato por descarga a plasma em gaiola catódica com furos e sem furos nas laterais. Cada filme foi depositado com uma pressão de trabalho de nitrogênio e hidrogênio de 1,9 Torr na temperatura 435 °C. As Propriedades estruturais, ópticas e elétricas foram investigadas para compreender o efeito da presença ou não de furos nas laterais da gaiola catódica sobre elas. Os menores valores de resistividade elétrica foram encontrados nos filmes depositados na gaiola com furos e com fluxos de gases de 72 sccm de N2 e de 128 sccm de H2. Os maiores valores de transmitância foram encontrados nos filmes depositados na gaiola sem furos e fluxo de gases de 178 sccm de N2 e 22 sccm de H2.


Palavras-chave

Filme fino nitreto de titânio plasma gaiola catódica

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Biografia do Autor

Sandro Santos da Silva, Ifes- Instituto Federal do Espírito Santo

Professor da Coordenadoria de Física do Instituto Federal do Espírito Santo. Licenciado em Física e Mestre em Ciencia dos Materiais.

Leonardo Cabral Gontijo, Ifes- Instituto Federal do Espírito Santo

Professor Titular Aposentado do instituto Federal do Espírito Santo. Possui graduação em Licenciatura Plena Em Física pela Universidade Federal do Espírito Santo (1983), mestrado em Mestrado Em Física pela Universidade Federal do Espírito Santo (1996) e doutorado em Ciência e Engenharia dos Materiais pela Universidade Federal de São Carlos (2002). Atualmente é professor do Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo. Tem experiência na área de Engenharia de Materiais e Metalúrgica, com ênfase em Tratamentos Superficiais, atuando principalmente nos seguintes temas: plasma, nitretação por plasma, corrosão, caracterização e aço inoxidável.

 

Sukarno Olavo Ferreira, Universidade Federal de Viçosa

Universidade Federal de Viçosa (UFV); Departamento de Física.

Cintia de Laet Ravani Bottoni, Cintia de Laet Ravani Bottoni

Graduada em Engenharia Química pela Faculdade Aracruz (2009), Habilitada em Física pelo Programa Especial de Formação Pedagógica da Universidade Metropolitana de Santos (UNIMES, 2010), Pós-Graduada em Educação Ambiental (Instituto Superior de Educação de Afonso Cláudio, 2012), Mestre em Engenharia Metalúrgica e de Materiais pelo Instituto Federal de Educação, Ciência e Tecnologia do Espírito Santo (IFES, 2014) e Engenheira de Segurança do Trabalho pela Universidade Federal do Espírito Santo (UFES, 2015). Possui experiência em docência, coordenação de curso, pesquisa e desenvolvimento de novos produtos/tecnologias e execução de consultoria técnica.
Como Citar
Silva, S. S. da, Gontijo, L. C., Ferreira, S. O., & Bottoni, C. de L. R. (2018). CARACTERIZAÇÃO DE FILMES FINOS DE NITRETO DE TITÂNIO DEPOSITADOS POR DESCARGA A PLASMA EM GAIOLA CATÓDICA. xatas ∓ ngenharias, 8(21). https://doi.org/10.25242/885X82120181322
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Referências

  1. CEKADA, M.; PANJAN; KEK-MERLA, D.; PANJAN, M.; KAPUNB, G. SEM study of defects in PVD hard coatings. Vacuum. v.82, p. 252–256, 2008.
  2. DAUDT, N. F.; BARBOSA, J. C. P.; BRAZ, D. C.; PEREIRA, M. B.; ALVES JR., C. TiN thin film deposition by cathodic cage discharge: effect of cage configuration and active species. Journal of Physics: Conference Series 406 012021, 2012.
  3. DAUDT, N. F.; BARBOSA, J. C. P.; MACÊDO, M. O. C.; NASCIMENTO NETO, A. B.; GUERRA NETO, C. L. B; ALVES JR., C. Estudo da viabilidade da técnica de plasma em descarga de gaiola catódica para obtenção de filmes de TiN para revestimentos biocompatíveis. Revista Brasileira de Inovação Tecnológica em Saúde, On-Line, 2011.
  4. FILHO, E.A.; FRAGA, A.F.; BINI, R.A.; MARQUES,R.F.C.; GUASTALDI, A.C. Influência do espaçamento do feixe de laser Nd:YAG na obtenção de óxidos e nitretos na superfície do titânio em pressão atmosférica. Revista Matéria, v. 14, n. 2, p. 787 – 794, 2009.
  5. MENG, L.; SANTOS, M. P. Characterization of titanium nitride films prepared by d.c. reactive magnetron sputtering at different nitrogen pressures. Surface and Coatings Technology. Amsterdam: Editora Elsevier, p. 64-70, Julho/1996.
  6. PAJAN, P.; CEKADA, M.; PAJAN, M.; KEK-MERL, D. Growth defects in PVD hard coatings. Vacuum. v. 84, p. 209-214, 2010.
  7. PENG, Z.; MIAO, H.; LONGHAO Q.; SIZE Y.; CHIZI L. Hard and wear-resistant titanium nitride coatings for cemented carbide cutting tools by pulsed high energy density plasma. Acta Materialia. v.51, p. 3085-3094, março/ 2003.
  8. SMITH, G.B., BEM-DAVID, A., SWIFT, P.D. A new type of TiN coating combining broad band visible transparency and solar control. Renewable energy. Amsterdam: Editora Elsevier, v. 22, p. 79-84, 2001.
  9. SOUSA, R. R. M.; ARAÚJO, F. O.; RIBEIRO, K. J. B.; SOUSA, R. S.; COSTA, J. A . P.; ALVES JR., C. Nitretação em pós-descarga de amostras de aço AISI 316 com diferentes dimensões. 17º CBECIMat - Congresso Brasileiro de Engenharia e Ciência dos Materiais, 15 a 19 de Novembro de 2006, Foz do Iguaçu, PR, Brasil.
  10. XU, S., DU, L., SUGIOKA, K., TOYODA, K., JYUMONJI, M. Preferred growth of epitaxial TiN thin film on silicon substrate by pulsed laser deposition. Journal of Materials Science. v. 33, p. 1777-1782, 1998.